Keramische Komponenten für die Mikroverfahrenstechnik

; Alm, B.; Haußelt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240062673
HGF-Programm	41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM