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Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

Guttmann, M.; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.; Hielscher, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240062772
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
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