| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240063620 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erscheinungsvermerk | 19th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2006), Istanbul, TR, January 22-26, 2006 Technical Digest Piscataway, N.J. : IEEE, 2006 |