KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Simulation of a LIG(A) production line

Meyer, P.; Arendt, M.; Schulz, J. ORCID iD icon


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240064737
HGF-Programm 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie
Erscheinungsvermerk Genco, A. [Hrsg.] 4th Internat.Industrial Simulation Conf. (ISC'2006), Palermo, I, June 5-7, 2006 Gent : EUROSIS-ETI, 2006
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page