Finite element analysis of V-shaped cantilevers for atomic force microscopy under normal and lateral force loads

Müller, M.; Schimmel, T.; Häußler, P.; Fettig, H.; Müller, O.; Albers, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240065051
HGF-Programm	43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung
Erscheinungsvermerk	Chinese-German Forum on Fundamentals and Technological Perspectives of Nanoscience, Beijing, China, September 26-30, 2004