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Finite element analysis of V-shaped cantilevers for atomic force microscopy under normal and lateral force loads

Müller, M.; Schimmel, T.; Häußler, P.; Fettig, H.; Müller, O.; Albers, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240065051
HGF-Programm 43.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Chinese-German Forum on Fundamentals and Technological Perspectives of Nanoscience, Beijing, China, September 26-30, 2004
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