High purity Si-C-N thin films with tailored composition on the Tie line SiC-Si₃N₄
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240065598 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erscheinungsvermerk | 17th European Conf.on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides, Estoril, P, September 3-8, 2006 |