Design and manufacturing of micro heaters for gas sensors

Johander, P.; Goenaga, I.; Gomez, D.; Moldovan, C.; Nedelcu, O.; Petkov, P.; Kaufmann, U.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Dorey, R.; Persson, K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240065721
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	Dimov, S. [Hrsg.] 4M 2006 : Proc.of the 2nd Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Grenoble, F, September 20-22, 2006 Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 2006