Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240066937 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erscheinungsvermerk | Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, May 31 - June 3, 2005 |