Crystallite misorientation analysis in semiconductor wafers and ELO samples by rocking curve imaging

Mikulik, P.; Lübbert, D.; Pernot, P.; Helfen, L.; Baumbach, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240066937
HGF-Programm	43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit
Erscheinungsvermerk	Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, May 31 - June 3, 2005