Legierungsabscheidung für LIGA-Mikroteile und Werkzeuge am Beispiel von Ni-Fe und Ni-W
Bade, K.
; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.
; Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240068152 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 (GMM-Fachbericht ; 53) Inkl.CD-ROM |