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Replication technologies for HARM devices. Status and perspectives

Piotter, V.; Bauer, W.; Hanemann, T.; Heckele, M.; Mueller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240068226
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007
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