| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240068621 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erscheinungsvermerk | 14th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), Lyon, F, June 10-14, 2007 Proc.on CD-ROM Piscataway, N.J. : IEEE, 2007 |