Stiction issues and actuation of RF LIGA-MEMS variable capacitors

Haluzan, D.; Klymyshyn, D.; Börner, M.; Achenbach, S.; Wells, G.; Mappes, T.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240068817
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk	7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007