Reflectivity test of X-ray mirrors for deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Last, A.; Börner, M.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240068885
HGF-Programm	43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik
Erscheinungsvermerk	7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 Book of Abstracts