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Reflectivity test of X-ray mirrors for deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Last, A.; Börner, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240068885
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 Book of Abstracts
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