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A fabrication technology for epitaxial Ni-Mn-Ga microactuators

Khelfaoui, F.; Kohl, M.; Buschbeck, J.; Heczko, O.; Fähler, S.; Schultz, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240069175
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Materials Research Society Fall Meeting 2007, Warszawa, PL, September 17-20, 2007
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