A fabrication technology for epitaxial Ni-Mn-Ga microactuators

Khelfaoui, F.; Kohl, M.; Buschbeck, J.; Heczko, O.; Fähler, S.; Schultz, L.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240069175
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	European Materials Research Society Fall Meeting 2007, Warszawa, PL, September 17-20, 2007