Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240069393 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Geßner, T. [Hrsg.] Mikrosystemtechnik-Kongress, Dresden, 15.-17.Oktober 2007 Proc.S.557-60 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 inkl.CD-ROM |