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Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen

Michaeli, E.; Kamps, T.; Bach, F.W.; Hartz, K.; Schmachtenberg, E.; Schmiederer, D.; Lurz, A.; Vetter, K.; Piotter, V.; Prokop, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240069394
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Geßner, T. [Hrsg.] Mikrosystemtechnik-Kongress, Dresden, 15.-17.Oktober 2007 Proc.S.635-38 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2007 inkl.CD-ROM
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