Microsystem and microelectronic devices investigated by synchrotron-Radiation imaging techniques

Helfen, L.; Myagotin, A.; Baumbach, T.; DiMichiel, M.; Kröning, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240070320
HGF-Programm	43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit
Erscheinungsvermerk	9th European Conf.on Non-Destructive Testing (ECNDT), Berlin, September 25-29, 2006 Berlin : DGZfP, 2006 CD-ROM We.1.5.3 (Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. ; Berichtsband 103-CD)