Towards an integrated design approach for Si+NonSi MEMS methodology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240070446 |
| HGF-Programm | 43.01.07 (POF I, LK 01) Mikroverfahrenstechnische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | PATENT-DfMM and NEXUS MWG Design Modelling Simulation Workshop, Berlin, January 25, 2007 |
| Externe Relationen | Siehe auch |