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Towards an integrated design approach for Si+NonSi MEMS methodology

Brück, R.; Dickerhof, M.; Hahn, K.; Langbein, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240070446
HGF-Programm 43.01.07 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk PATENT-DfMM and NEXUS MWG Design Modelling Simulation Workshop, Berlin, January 25, 2007
Externe Relationen Siehe auch
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