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Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators

Kohl, M.; Grund, T.; Guerre, R.; Despont, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240070567
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Shape Memory and Superelastic Technologies (SMST 2007), Tsukuba, J, December 3-5, 2007
Externe Relationen Volltext/Abstract
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