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Novel fabrication process for the integration of MEMS devices with thick amorphous soft magnetic field concentrators

Brugger, S.; Pfleging, W.; Paul, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240070751
HGF-Programm 43.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk LaVan, D. [Hrsg.] Microelectromechanical Systems : Materials and Devices ; Proc.of Symp.DD of MRS Fall Meeting 2007, Boston, Mass., November 26-30, 2007 Warrendale, Pa. : MRS, 2008 1052-DD07-11 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 1052)
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