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Magnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J.G.; Mohr, J.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240071373
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Technical Digest MEMS 2008 : 21st IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Tucson, Ariz., January 13-17, 2008 Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, 2008 Auch als Online-Ausg. erschienen
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