Magnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J. G.; Mohr, J.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240071373
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk	Technical Digest MEMS 2008 : 21st IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Tucson, Ariz., January 13-17, 2008 Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, 2008 Auch als Online-Ausg. erschienen