Modular integration of microactuators and micro-optical benches

Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Li, J.; Vorreau, P.; Efremov, A.; Leuthold, J.; Schonhardt, S.

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seit 19.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240071379
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk	Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)