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Modular integration of microactuators and micro-optical benches

Schüle, S.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Li, J.; Vorreau, P.; Efremov, A.; Leuthold, J.; Schonhardt, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240071379
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)
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