Wafer-scale manufacturing of robust trimorph bulk SMA microactuators

Sandström, N.; Braun, S.; Grund, T.; Stemme, G.; Kohl, M.; Wijngaart, W. van der

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240072214
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	Actuator 2008 : 11th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 9-11, 2008 Bremen : HVG Hanseatische Veranstaltungs-GmbH, Div.Messe Bremen, 2008