Visualization of the development process in deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240072248 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
| Erscheinungsvermerk | 17th Internat.Synchrotron Radiation Conf.(SR-2008), Novosibirsk, Russia, June 15-20, 2008 Book of Abstracts |