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Visualization of the development process in deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240072248
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 17th Internat.Synchrotron Radiation Conf.(SR-2008), Novosibirsk, Russia, June 15-20, 2008 Book of Abstracts
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