KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Visualization of the development process in deep X-ray lithography

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240072248
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 17th Internat.Synchrotron Radiation Conf.(SR-2008), Novosibirsk, Russia, June 15-20, 2008 Book of Abstracts
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page