Fabrication method to create high-aspect ratio pillars for photonic coupling of board level interconnects
Debaes, C.; Erps, J. van; Karppinnen, M.; Hiltunen, J.; Suyal, H.; Last, A.
; Lee, M. G.; Pentti, K.; Taghizadeh, M.; Mohr, J.; Thienpont, H.; Glebov, A.
; Lee, M. G.; Pentti, K.; Taghizadeh, M.; Mohr, J.; Thienpont, H.; Glebov, A.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240072507 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 T/1-12 (SPIE Proceedings Series ; 6992) |