Replication of deep micro-optical components prototyped by deep proton writing
Erps, J. van; Wissmann, M.; Guttmann, M.
; Hartmann, M.; Desmet, L.; Debaes, C.; Mohr, J.; Thienpont, H.
; Hartmann, M.; Desmet, L.; Debaes, C.; Mohr, J.; Thienpont, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240072509 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992) |