Replication of deep micro-optical components prototyped by deep proton writing

Erps, J. van; Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Desmet, L.; Debaes, C.; Mohr, J.; Thienpont, H.

Seitenaufrufe: 23
seit 19.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240072509
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf.,Strasbourg, F, April 7-9, 2008 Bellingham, Wash. : SPIE, 2008 (SPIE Proceedings Series ; 6992)