KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Why you will use the deep X-ray LIG(A) technology to produce MEMS?

Meyer, P.; Schulz, J. ORCID iD icon; Hahn, L.; Saile, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240072597
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page