Approaching a sub-micron capability index using a Werth Fibre Probe System WFP
Thelen, R.; Schulz, J.
; Meyer, P.; Saile, V.
; Meyer, P.; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240072625 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Dimov, S. [Hrsg.] 4M 2008 : Proc.of the 4th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Cardiff, GB, September 9-11, 2008 Dunbeath : Whittles Publ., 2008 |