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Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU-8 submicron structures

Reznikova, E.; Boerner, M.; Jakobs, P.J.; Nazmov, V.; Mohr, J.; Mappes, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240072687
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 Book of Abstracts
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