Soft X-ray lithography of high aspect ratio SU-8 submicron structures

Reznikova, E.; Boerner, M.; Jakobs, P. J.; Nazmov, V.; Mohr, J.; Mappes, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240072687
HGF-Programm	43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 Book of Abstracts