White beam topography of 300 mm Si-wafers

Danilewsky, A. N.; Wittge, J.; Rack, A.; Weitkamp, T.; Simon, R.; Baumbach, T.; McNally, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240074282
HGF-Programm	55.51.10 (POF I, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Erscheinungsvermerk	12th Internat.Conf.on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XII), Berlin, September 9-13, 2007