Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240074990 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2009), Roma, I, April 1-3, 2009 Grenoble : EDA Publ., 2009 Also publ.online |