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Laser-assisted material processing in microsystem technology - structuring, bonding and modification

Pfleging, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240076479
HGF-Programm 43.03.07 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Frijns, A.J.H. [Hrsg.] 1st Internat.GASMEMS Workshop, Eindhoven, NL, September 7-8, 2009 Proc.on CD-ROM Keynote Paper 1C
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