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Modular aufgebaute 'process-unit' - neues Anlagenkonzept für Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung

Guttmann, M.; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.; Schubert, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240076690
HGF-Programm 43.04.04 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Oberflächentage 2009 : 48. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik, Bremen, 23.-25.September 2009
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