Modular aufgebaute 'process-unit' - neues Anlagenkonzept für Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung
Guttmann, M.
; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.; Schubert, I.
; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, H.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.; Schubert, I.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240076690 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | Oberflächentage 2009 : 48. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik, Bremen, 23.-25.September 2009 |