Zugehörige Institution(en) am KIT | Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Jahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240076808 |
HGF-Programm | 43.98.01 (POF II, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Saile, V. [Hrsg.] 4M/ICOMM 2009 : The Global Conf.on Micro Manufacture, Karlsruhe, September 23- 25, 2009 London : Professional Engineering Publ., 2009 Engineering Conferences Online |