GLOBE MST - Metastudie zum Stand der Mikrosystemtechnik auf der Basis inhaltsanalytischer Methoden

Dickerhof, M.; Parusel, A.; Bittner, K.; Anson, S.; Kautt, M.; Gengenbach, U.; Kaufmann, U.; Voges, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2009
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240076952
HGF-Programm	43.01.04 (POF II, LK 01) Systemintegration
Erscheinungsvermerk	MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper.2 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009