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GLOBE MST - Metastudie zum Stand der Mikrosystemtechnik auf der Basis inhaltsanalytischer Methoden

Dickerhof, M.; Parusel, A.; Bittner, K.; Anson, S.; Kautt, M.; Gengenbach, U.; Kaufmann, U.; Voges, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240076952
HGF-Programm 43.01.04 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper.2 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009
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