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Alternative Fertigungsverfahren für Formeinsätze durch galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen

Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Beiser, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240077018
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper 24 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009
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