Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon
Prskalo, A. P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.
; Ye, J.; Ulrich, S.
; Ye, J.; Ulrich, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240077021 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | 19th Internat.Symp.on Computational Mechanics of Materials (IWCMM 19), Constanta, R, September 1-4, 2009 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |