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Herstellung von 3-D Mikrospulen in einem effizienten MST-Prozess

Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Mohr, J.; Börner, M.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240077269
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2009, Berlin, 12.-14.Oktober 2009 Proc.auf CD-ROM Paper 6 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2009
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