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Tolerance compensation in micro-optics

Sieber, I.; Dickerhof, M.; Schmidt, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240077368
HGF-Programm 43.01.04 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Sasian, J. [Hrsg.] Optical System alignment, Tolerancing, and Verification III : Proc.of SPIE Optics and Photonics 2009, San Diego, Calif., August 2-3, 2009 Bellingham, Wash. : SPIE, 2009 G/1-10 (Proceedings of SPIE ; 7433)
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