Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240079027 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Maher, M.A. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology XV : Proc.of Photonics West, San Francisco, Calif., January 23-28, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 75900D (Proceedings of SPIE ; 7590) Also publ.online |