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Alternative technology for fabrication of nano- or microstructured mould inserts used for optical components

Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240079027
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Maher, M.A. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology XV : Proc.of Photonics West, San Francisco, Calif., January 23-28, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 75900D (Proceedings of SPIE ; 7590) Also publ.online
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