Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240079229 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Collection of Papers Presented at the Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2010), Sevilla, E, May 5-7, 2010 Grenoble : EDA Publ., 2010 Also on CD-ROM |