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A modular Bi-directional flow control microsystem

Megnin, C.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240079647
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2010 : 12th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 14-16, 2010 Bremen : WFB Wirtschaftsförderung Bremen GmbH, Div.Messe Bremen, 2010
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