| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240079647 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2010 : 12th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 14-16, 2010 Bremen : WFB Wirtschaftsförderung Bremen GmbH, Div.Messe Bremen, 2010 |