Patterns for design in microtechnology
Albers, A.; Deigendesch, T.; Turki, T.; Müller, T.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240079761 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 |