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Electron beam lithography of free-standing Ni-Mn-Ga films

Schmitt, M.; Ohtsuka, M.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240080202
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 3rd Internat.Symp.on Shape Memory Materials for Smart Systems, European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 7-11, 2010
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