Electron beam lithography of free-standing Ni-Mn-Ga films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240080202 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 3rd Internat.Symp.on Shape Memory Materials for Smart Systems, European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 7-11, 2010 |