Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240080761 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems Conf. (COMS 2010), Albuquerque, N.M., August 29 - September 2, 2010 Paper publ.online |