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Investigations on sinter reaction bonded silicon nitride for micro mechanical components

Rögner, J.; Müller, M.; Lang, K.H.; Schulze, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240080897
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Bourg-en-Bresse, F, November 17-19, 2010
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