Investigations on sinter reaction bonded silicon nitride for micro mechanical components
Rögner, J.; Müller, M.
; Lang, K. H.; Schulze, V.
; Lang, K. H.; Schulze, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240080897 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Bourg-en-Bresse, F, November 17-19, 2010 |