Replication of optical components by hot embossing

Worgull, M.; Schneider, M.; Heilig, M.; Kolew, A.; Dinglreiter, H.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2010
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240081033
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erscheinungsvermerk	Thienpont, H. [Hrsg.] Photonics Europe : Micro Optics ; Proc.of the Conf., Bruxelles, B, April 12-16, 2010 Bellingham, Wash. : SPIE, 2010 Paper 771604 (Proceedings of SPIE ; 7716) Also publ.online DOI:10.1117/12.859077