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A method to create complementary panels and beams for microstructures with very high aspect ratio

Nazmov, V.; Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Simon, M.; Vogt, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240085008
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011
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