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A method to create complementary panels and beams for microstructures with very high aspect ratio

Nazmov, V.; Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Simon, M.; Vogt, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240085008
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik
Veranstaltung MikroSystemTechnik Kongress (2011), Darmstadt, Deutschland, 10.10.2011 – 12.10.2011
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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