High precision positioning of plasmonic nanoparticle based on damascence process

Häringer, D.; Chen, G.; Jakobs, P.; Yarema, M.; Heiss, W.; Kohl, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240088125
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erscheinungsvermerk	12th Internat.Conf.on Nanotechnology (IEEE Nano 2012), Birmingham, GB, August 20-23, 2012