Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2012 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240088139 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erscheinungsvermerk | 37th Internat.Conf.on Micro and Nano Engineering (MNE 2011), Berlin, September 19-23, 2011 |